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国家反导反卫星"氧一碘强激光工程"项目 [中国激光果然强!]
www.wforum.com | 2008-12-21 15:32:26  世界军事网 | 0条评论 | 查看/发表评论

国家反导反卫星"氧一碘强激光工程"项目 [中国激光果然强!]
 
中科院上海光学精密机械研究所


  蓝宝石晶体是综合性能最好、使用最广泛的氧化物衬底材料,主要用作氮化物半导体衬底、大规模集成电路衬底等,其国内外市场是长期的、永久的。蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料,优质光学材料,耐磨轴承材料等。

  70年代末,上海光机所创立了导向温梯法(TGT),88年获得专利权。在“八五”和“九五”863计划的支持下,用温梯法成功生长了尺寸达 Φll5x80mm3的大尺寸优质蓝宝石晶体,晶体外形完整,等径部位不开裂。分析比较了不同纯度的Al2O3原料对晶体质量的影响。建立了特殊的高温退火装置,耐火温度>1600℃。通过以上工艺,已经成功地解决了蓝宝石晶体的着色现象,并极大地减小了晶体的光吸收。较好地解决了大尺寸蓝宝石晶体的加工问题,面形精度获得明显提高。本项目生产出的蓝宝石晶体具有国际领先水平,标准化蓝宝石衬底φ50X0.4mm已达到产业化水平,更大尺寸(第二代和第三代)的蓝宝石衬底和特殊要求的钛宝石晶体正在发展之中。
  目前四英寸蓝宝石晶体的研制取得以下研究成果:
  1、稳定生长尺寸≥Φ120x80mm的优质Al2O3晶体,成品率≥80%。
  2、大面积光学均匀性Δn<10-5;光损耗<10-4/cm;
  3.位错密度:≤5xlo2/m2;双晶衍射摇摆曲线: FWHM≤20"
  4.美国 LIGO工程对于我研究小组生长的大尺寸蓝宝石晶体Φll0×80mm进行了1064nm处的弱吸收测试,结果:吸收系数为35-65pp/cm,优于美国 CRYSTAL SYSTEM Inc.(CSI)公司提供的样品(80ppm/cm)。)通过改进生长工艺,建立更合适的温度梯度,有效地提高了蓝宝石晶体的光学均匀性,PV值达 17nm,优于美国CSI公司的30nm。
  5、已向美国国家自然科学基金委重大项目LIGO计划提供大尺寸蓝宝石晶体样品,并己提出了第二期研究计划。
  6.向国内从事GaN的研究单位提供各类蓝宝石衬底基片100多片。
  7、将向国家反导、反卫星"氧一碘强激光工程"项目提供5块Φ100mm左右的大尺寸晶体作强激光窗口。 

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