中国开始量产自主研发的浸润式深紫外光机（DUV），此举朝降低对外国技术依赖迈出关键一步。路透引述消息来源率先披露，主导该生产的是鲜为人知的中国国营公司上海爱晟纳电子科技集团（Aishengna），成立仅3年。

　　报道说，根据公司纪录，爱晟纳于2023年8月成立，注册资本额70亿人民币，仅由两家国有股东支持：上海电气控股公司，以及上海国际信托公司1家子公司。

　　爱晟纳没有公司网站，也没有揭露任何营运的公开资料。消息人士说，该公司整合了上海微电子装备集团（SMEE）与上海宇量升科技的团队，去年宇量升开始测试一台DUV原型机。

　　上海微电子装备以及上海宇量升科技都深度参与北京的半导体自主计划。宇量升是华为投资的设备制造商新凯来（SiCarrier）的关系企业。公司与招聘纪录显示，爱晟纳与宇量升在上海共用一个地址。

　　科技业新闻媒体The Information 27日率先报道，上海一家未透露名称的国有企业开始制造DUV，预计今年生产5台，2027年约生产20台。

　　路透首度披露该公司名称。知情者说，爱晟纳的DUV机台预计需进一步进行测试，其品质仍与荷兰艾司摩尔（ASML）的同类产品仍有一大段距离。然而，若西方持续限制DUV的出口，国产DUV将是中国芯片制造商的另一种设备来源。

　　The Information报道，中国制DUV机台预计今年交付给中芯国际、华虹半导体与长鑫存储。

　　分析师指出，尽管相关消息引发市场反应，但中期而言，不太可能对艾司摩尔（ASML）的获利造成影响。

　　摩根大通分析师7月28日指出，“生产一些浸润式DUV工具与制造可用来大量生产芯片的工具是两码子的事，对于后者，良率、叠对精度、产出量与数千片晶圆运作的可靠性才是关键”。

示意图 （路透社）